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半导体行业过程气体分析解决方案

方案概述

气体纯度和净度的加持

电子特气的品质主要取决于其纯度和净度，，一旦纯度或净度不达标，，，轻则使下游产品质量不过关，，重则扩散污染整条产品线，，，造成严重浪费。。为了保证产品的合格率，，，，避免经济损失，，半导体制造商会对气体供应商提供的气体纯度做出严格要求，，通过使用多种气体纯化技术并实时连续监测气体纯度，，，以确保输送到制造全过程的超纯气体的质量。。

巧匠节能为半导体制造商提供过程气体分析一站式解决方案，，，，在电子特气进入硅晶圆制造工艺之前，，就开启连续监测，，，，并通过自主研发的软件包实时分析和反馈，，，满足对晶圆制造过程中各种气体及杂质进行在线实时监测的需求。。

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